GLRT-600型高低温探针台
产品简介
GLRT-600型高低温探针台根据制冷方式分为液氮制冷和GM制冷机两种，温度范围从-260℃度到600℃C可控。产品兼容低至1pA的直流信号，50GHz的高频信号以及1KV的高压信号；
显微镜、探针、变温模块可自行切换，提供拓展的物性测量软件，包含光电热等测试功能；
广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域，可以做标准的IV、CV、微波和光电实验。
技术参数
型号 | GLRT-600 | GLRT-600A | GLRT-600B |
制冷方式 | 液氮 | GM制冷机 | |
温度范围 | -190°C到600°C | 6K到320K | |
显示精度 | 0.1°C | 0.001K | |
控温精度 | ±0.01°C | ±0.01K | |
Z大加热速率 | 50°C/min | 20K/min | |
Z大冷却速率 | -30°C/min | 10K/2h | |
样品台大小 | 30*30mm | ф40mm | |
正面观察窗大小 | ф41mm单面(可订制) | ||
外观尺寸 | 450*450*72mm | 450*450*90mm | 450*450*1000mm |
腔体净重 | 10kg | 90kg | |
探针类型 | 直流位移探针 | 高频位移探针 | 参考TS600E-OE、HF |
调节方式 | 位移旋钮调节 | ||
探针材质 | 钨钢或铍铜(探针针尖1um) | 50g高频探针或直流探针 | |
探针数量 | 4个(可拓展为6个) | 4个 | |
电流参数 | PA级 |
显微镜模块Microscope module
品牌：永新光学、舜宇、奥斯微
目镜：高眼点广角目镜WF20X/10mm
物镜：内置连续变倍物镜0.7-4.5倍
观察头：双目观察头，45度倾斜，瞳孔距调节范围54-76mm，双边视度可调
放大倍率：连续变倍7-90X
照明光源：可调亮度LED光源
工作距离：100m
调节范围：立杆高度380mm，升降范围50mm
相机模块Camera module
品牌：杭州图谱、福州鑫图
芯片型号：SonyIMX485(C)
像素大小：2.9mm*2.9mm
Z大分辨率：830万像素
帧速：45fps@3840*2160 70fps@1920*1080
曝光时间：0.02ms-15s
白平衡：ROI白平衡/手动Temp-Tint调整
记录方式：图像和视频
G光灵敏度：2188mv with 1/30s
暗电流：015mv with 1/30s
光谱响应范围：380-650nm(有红截止滤光片的情况下)
