JKZC-DN系列增强型探针台
|产品概要
JKZC-DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台，可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构，显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离，提高测试效率，在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用，配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。
|技术特点
?显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量的光学成像；
?卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡；
?可升级性强，可升级卡盘360度快速移动，可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。
详细参数
产品型号 技术参数 | JKZC-DN4 | JKZC-DN6 | JKZC-DN8 | JKZC-DN12 | |
探针台台体 | 主体材料 | 航空铝 | 航空铝 | 航空铝 | 航空铝 |
整机尺寸（mm） | 580L*480W*620H | 630L*530W*620H | 700L*580W*620H | 800L*650W*620H | |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自适应减震系统 | 自适应减震底座设计，可有效过滤环境中的震动源干扰 | ||||
卡盘大小 | 4",360度转动，可微调 | 6",360度转动，可微调 | 8",360度转动，可微调 | 12",360度转动，可微调 | |
卡盘XY5S行程 | 4"*4"，精度 10um | 6"*6"，精度 lOurm | 8"* 8"，精度 | 12"*12，精度 10um | |
卡盘Z轴行程 | 快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米 | ||||
卡盘材质 | 不锈钢镀金，具备更小的接触电阻 | ||||
卡盘吸附方式 | 真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片） | ||||
背电极测试功能 | 卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能 | ||||
其它功能 | 带标准接地保护，可升级，ChJKZC-UCk360度快速移动（选件） | ||||
针座平台 | 材质 | U型平台，Q235镀第带接地端子 | |||
大小 | 最多可放置4?6个探针座 最多可放置8~10个探针座 | ||||
■mkZB系统 | 显微镜类型 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统 | |||
倍率范围 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | ||||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | ||||
CCD成像系统 | 2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | ||||
探针座 | 种类 | 丝杆型/微分头型/经济型探针座 | |||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | ||||
机械精度 | 0.5um/0.7um/2um | ||||
夹具 | 漏电精度 接口形式 | 同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA | |||
同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 | |||||
其它 | 选件 | ChJKZC-UCk360度快速移动/屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 | |||
电力需求 | 220V/50HZ |
标准探针台/JKZC-DH系列综合型探针台
