本款为电子工业用气体?六氟乙烷 R116（全氟乙烷 C?F?）分析专用气相色谱仪，基于普瑞 GC?9280 气相色谱仪主机开发，配套专用阀系统、色谱柱与 PDHID 氦离子化检测器，运用中心切割反吹技术，有效消除高浓度 C?F?主组分过载干扰，一次性测定样品内多种痕量杂质，检测下限可达 ppb 级别，满足 GB/T 34091?2017 标准分析需求，广泛用于电子特气生产企业、第三方检测机构、半导体原材料质检实验室。整机 AEFC 全电子流量控制，7 寸触控操作，重复性好，支持方法保存、自动计算报告。

GC-9280型氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-9280气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的宽量程高灵敏度氦离子化（PDHID）检测器；采用色谱中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫无死体积专用阀；可根据用户实际需求制定一套完整的高纯气体分析解决方案。 

仪器特点：

• ? 气体行业专业色谱技术成套解决方案

• ? 采用原装进口公司带He吹扫保护功能的高性能隔膜阀控制气路

• ?采用色谱柱管材、填料及接头均为进口材质及CO防拖尾处理技术；

• ?分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头

• ?系统具备多阀多柱的中心切割与反吹技术，由多个原装进样阀和多根VCR色谱柱联合组成。

• ?中心切割阀系统采用原装高性能隔膜阀、原装EP级高纯气体管路，自动进样、自动切割；阀系统和柱系统配备密闭和载气快速放空功能。

• ?色谱柱系统连接接头VCR密封接头，不仅方便连接，而且具有更好的密封性和无泄漏性，真实的保证PPb级别的检出限。

• ? 多柱箱的应用，使色谱分析柱可以单独控温，且可增加冷阱，得到更好的分离度。

• ?宽量程的PDHID放大电路采用对数放大器，具有更宽的线性检测范围，分解产物检测指标能够检测至μg/g（ppb）级。

• ?断气保护功能，当氦载气压力低于0.1MPa时，自动关闭高压。

• ?带有温度补偿的APC控制器具有更高的重现性和稳定性，操作方便高效；

• ?采用以太网：IEEE802.3接口通讯，工作站支持MODBUS/TCP协议，支持网络远程传输及控制功能，可进行无人值守分析、分散监测、集中控制。

部件介绍

1）双级纯化器系统（PDHID气路纯化器配置）：

前级纯化+内置纯化（非吸附性纯化器，对于载气中 H2、O2、N2、 CH4、CO、CO2杂质纯化后浓度低于10p

纯化器Valco 氦气（HP）纯化器的纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层 氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散， 防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸 附。HP 的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两 个温度控制范围。 纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

残留浓度：≤10ppb

2）多柱箱的设置

对大部分的应用使用独立控温的微柱箱。一个微柱箱最多可以安装2 根色谱柱，而微柱箱的装卸是非常简单 的，只要把固定的4个螺丝取出或固定就可以了。微柱箱是 GC独立控制的，所以温控效果会非常好，柱箱和柱箱直接没有干扰。微柱箱的控温效果要明显优于大柱箱的效

技术指标

放电离子化检测器（PDHID）

 脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)是一种灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析。

工作原理

   PDHID上部有一个放电区，脉冲高压加在两个电极上，产生辉光放电。产生的紫外光使载气He原子由基态跃迁到各个能级的亚稳态激发态，生成亚稳态氦原子He*（23S,19.8eV）氦离子He＋1S2S1/2,24.5eV），这些高能态的He粒子进入下面的电离室与被测组分的分子碰撞，使其电离成分子离子，在极化电压的作用下，向离子收集极运动。收集极接收到被测组分离子产生微电流，经信号放大器放大后得到一个与组分浓度相对应的色谱信号，色谱峰。

◆PDHID是利用氦中稳定的，低功率脉冲放电作电离源，使被测组分电离产生信号。

◆PDHID是非放射性检测器，对所有物质均有高灵敏度的正响应。

◆非放射性检测器，使用安全

◆检测灵敏度高，气体中杂质的最小检测浓度达5ppb